EQUIPMENT

MBRAUN グローブボックス(MBRAUN UNILAB2000)

酸素と水分の濃度を10ppm 以下の環境に保ちます.ペロブスカイトの合成などに必須な装置です.

ポリマー薄膜生成装置

UNICO UL1000A のグローブボックスと接続し,大気解放することなく,表面に有機薄膜を生成します.

スピンコーター

UNICOグローブボックス内に設置して,大気暴露に弱い有機材料からなる薄膜を生成します.

アークプラズマ蒸着装置(アドバンス理工APG-1000)

Bi2Te3熱電薄膜蒸着など,化合物薄膜を生成する装置として利用しています.

スパッタリング薄膜蒸着装置

一般的な金属に加え,透明電極となるITO薄膜を生成する際に利用します.

真空蒸着装置(アルバック理工 VPC-260)

油拡散ポンプと抵抗加熱を利用した一般的な真空蒸着装置です.3ω法のAl細線生成をはじめ,多くの場面で利用します.

E-Beam蒸着装置

熱電子を高電圧で加速して,高融点材料を溶かして薄膜生成する装置です.SiO2薄膜など表面に絶縁層を生成する際に利用しています.

雰囲気制御加熱炉

蒸着薄膜の物性を高める熱処理に利用します.H2混合ArやN2などのガスを導入して利用します.

プラズマ照射装置

基板表面の洗浄や改質に利用します.

ドラフター

化学薬品を利用する際に必須です.

簡易クリーンブース

塵の付着などが致命的な問題になる試料作製はこの中で行います.

超純水生成装置

イオン交換膜を利用したり,脱気する装置で実験に必要となる清浄な水を生成します.

遊星型ボールミル(Fritsch PL7)

数10μm直径の粉末をさらに粉砕して,粉末直径を数μmからサブミクロンサイズにまで小さくします.

微粒子サイズ測定装置(HORIBA Partica)

光散乱によって,液体に含まれる2nmから2mmまでの微粒子の直径を測定します.

テーブルプレス装置(TB-50H)

微粒子を加圧,加熱して焼結します.アークプラズマガンのターゲットの生成など,幅広く利用します.

触針型膜厚測定装置(DEKTAK)

薄膜の物性評価において,膜厚測定は必須です.10nmから数100nm程度の膜厚を測定します.

デジタル顕微鏡(Keyence VHX)

ミクロンオーダーの表面形状を測定し,3次元形状をデジタル合成で生成します.

卓上走査型電子顕微鏡(JASCO pure)

20,000倍まで拡大して対象を観察することができます.数100nm程度の対象表面を観察します.

FT-IR(JASCO FT-IR 670)

対象の赤外(波長2μmから20μmmまで)に対する透過率,反射率を測定します.

可視ー赤外分光器(リツ―光学)

450nmの可視から10μmの赤外まで光を3枚の回折格子2つの光センサーで分光します.

赤外線カメラ(NEC AVIO TVS-200EX)

対象からの赤外線を測定し,非接触温度測定します.

ホール効果測定装置(ECOPIA HMS-3000)

半導体のキャリア濃度を測定します.

四探針法抵抗率装置(三菱化学 ロレスタ)

半導体薄膜などの抵抗率を測定します.

音叉型振動式粘度計(A&D SV-10)

液体の粘度を測定します.

3ω法熱伝導率測定装置

真空中で液体窒素温度から100℃程度までの温度範囲で薄膜の熱伝導率を3ω法により測定します.

熱電特性測定装置

真空中で室温から500℃程度まで,熱電薄膜のゼーベック係数と導電度を測定します.

データロガー

多点温度計測や電圧を計測し,PCに転送します.

光学測定装置

レーザー加熱やレーザー干渉などを使って,非接触で対象の物性や挙動を測定します.

機械加工装置

簡単な実験装置であれば,旋盤,フライス盤,ボール盤,セラミックスカッターなどで自作します.